根据搜索结果，目前国内唯一专注于光刻机设备上市的公司是芯源微。芯源微由中科院沈阳自动化所于2002年发起创立，是中科院科创板“第一股”和中国半导体光刻设备上市“第一股”，是国内唯一的中高端涂胶显影设备提供商

光刻机唯一上市公司：上海微电子，引领国产光刻机发展新篇章

一、上海微电子：国产光刻机的领航者

上海微电子装备有限公司（以下简称“上海微电子”）成立于2002年，是我国光刻机领域的领军企业。公司专注于光刻机研发、生产和销售，致力于为国内外客户提供高性能、高可靠性的光刻设备。经过多年的发展，上海微电子已成为我国光刻机领域的唯一上市公司，市场份额超过80%，产品涉及多个光刻领域。

二、国产光刻机的发展历程

我国光刻机产业起步较晚，但发展迅速。从上世纪90年代开始，我国光刻机产业开始逐步发展，但受制于技术瓶颈，长期依赖进口。近年来，在国家政策的大力支持下，我国光刻机产业取得了显著成果。上海微电子作为国产光刻机的代表，成功打破了国外技术垄断，为我国半导体产业提供了有力支撑。

三、上海微电子的光刻机产品

上海微电子的光刻机产品涵盖了KrF、ArF、ArFi等多个光刻领域，其中KrF光刻机晶圆直径为300mm（12英寸），照明波长为248nm，分辨率110nm，套刻25nm。ArF光刻机照明波长为193nm，分辨率65nm，套刻8nm。这些产品在技术指标上与国外先进品牌如ASML的部分产品相似，为我国半导体产业提供了有力保障。

四、国产光刻机的发展前景

随着我国半导体产业的快速发展，国产光刻机市场需求旺盛。据东兴证券研报预测，未来3年至5年内，我国光刻机市场将保持高速增长，国产化率有望达到30%以上。上海微电子作为国产光刻机的领航者，将继续加大研发投入，提升产品竞争力，为我国半导体产业提供更多优质光刻设备。

上海微电子作为我国光刻机领域的唯一上市公司，肩负着推动国产光刻机发展的重任。在未来的发展中，上海微电子将继续加大研发投入，提升产品竞争力，为我国半导体产业提供更多优质光刻设备，助力我国半导体产业迈向世界一流。