其中拓荆科技增速最为迅猛，其此前披露的2022年业绩快报显示，2022年公司实现营收17.06亿元，同比增长125.02%，实现归母净利润3.69亿元，同比增长438.09%，而扣非归母净利润则为1.78亿元，而2021年则为亏损8200万元。

从业务上看，拓荆科技PECVD设备(等离子增强化学气相沉积)实现高速增长，仍是该公司收入增长主要来源(2022Q1-Q3该公司PECVD收入占比约90%)。

另外，芯源微在2021年净利润增速为58%，而其2022年业绩快报显示，该公司净利润同比增长155%，接近2亿元。同样保持高增速的还有盛美上海，其净利润增速从2021年的35%提升至2022年的151%，实现6.68亿元。盛美上海产品覆盖前道半导体工艺设备，和后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底制造工艺设备等。

而与北方华创布局类似的中微公司在2022年实现营收47.4亿元，同比增长52.5%；其实现扣非后归母净利润9.19亿元，同比增长183.44%。

对于国内半导体设备厂商的集体进入业绩高增长通道，长江证券一份研报分析指出，由于2022年以来美国对华半导体出口管制不断升级，2022Q4中国半导体设备进口额同比随之下滑。

该机构认为，一方面，国内晶圆厂对成熟制程及特色工艺晶圆厂的扩产意愿仍然较强，SMIC(中芯国际)预计2023年资本开支与2022年相比大致持平，主要将用于成熟产能扩张；另一方面，不确定的外部环境凸显供应链自主可控的重要性。多方面因素共同推动下，下游厂商或将加快国产设备认证，半导体设备的国产化进程有望进一步提速。

而且在资本开支方面，中芯国际在2022年全年资本支出完成约432亿元，占全年原资本开支计划的94.74%。今年资本开支将与2022年相比大致持平。而华虹半导体则承诺增加资本开支。